漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂应用5:半导体清洗用水漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂安装适配
漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂应用5:半导体清洗用水漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂安装适配
半导体芯片清洗用水对杂质离子零容忍,漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂安装需适配百级洁净工况。安装车间为百级洁净室,设备提前做全面洁净处理,管路采用PVDF防腐材质,杜绝金属离子析出,混床柱内壁精细抛光,无残留死角。选用半导体专用级漂莱特PUROLITE MB400混床离子交换树脂,装填前经超纯水多级冲洗,去除可溶性杂质,在洁净工作台内完成湿法装填,避免灰尘落入。装填完成后用超纯水循环冲洗,实时监测电阻率与TOC指标,直至出水达标,运行时密闭循环、恒温控制,减少离子析出,保障芯片清洗用水纯度。
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